萊寶DIP30000油擴(kuò)散泵主要技術(shù)參數(shù)：

抽速：30 000L/S

極限全壓強(qiáng)：< 5.0 x 10-7mbar

蒸汽流真空泵的工作原理

擴(kuò)散泵的運(yùn)行倚賴(lài)于泵油蒸汽，其主要部件有：

- 含有進(jìn)氣口和排氣口的冷卻泵體

- 噴嘴系統(tǒng)

- 泵油鍋

擴(kuò)散泵工作時(shí)，油鍋內(nèi)泵油被加熱至氣化，油蒸汽被強(qiáng)迫通過(guò)泵內(nèi)噴嘴系統(tǒng)。噴嘴的特殊設(shè)計(jì)能將蒸汽加速至大于音速（拉瓦爾噴嘴），于是形成高速蒸汽噴射流，并被噴嘴以特定角度噴向泵體。蒸汽接觸冷泵體后，冷凝成液態(tài)泵油流回油鍋。擴(kuò)散泵和其它類(lèi)型的蒸汽流真空泵的抽氣能力主要基于蒸汽噴射流對(duì)氣體的傳輸能力。被抽氣體在排氣口被充分壓縮后由前級(jí)泵抽出。

油擴(kuò)散泵

與其它的類(lèi)型的蒸汽流真空泵相比，油鍋內(nèi)和蒸汽射流中的蒸汽密度是相當(dāng)?shù)偷?，因此氣體分子幾乎可以全部擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流中，而其中的絕大部分分子會(huì)被抽出。

擴(kuò)散泵的抽速（與進(jìn)氣口面積相關(guān)）高而恒定， 在進(jìn)氣壓強(qiáng)約為10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低壓強(qiáng)范圍內(nèi)，蒸汽射流不受真空室內(nèi)壓強(qiáng)變化的影響。

油擴(kuò)散泵的工作

前級(jí)真空

在任何情況下，擴(kuò)散泵都需配足夠大小的前級(jí)泵（見(jiàn)技術(shù)數(shù)據(jù)），前級(jí)真空泵的規(guī)格和類(lèi)型取決于工作條件和所抽氣體量。

1.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以上連續(xù)工作 — 抽大量氣體。

2.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以下連續(xù)工作 — 抽較少量氣體。

使用擴(kuò)散泵時(shí)，真空室必須通過(guò)閥（3）和粗抽線(xiàn)直接連到前級(jí)泵。先用前級(jí)泵將真空室抽低至擴(kuò)散泵能正常切入的壓強(qiáng)，如擴(kuò)散泵已準(zhǔn)備完畢，可打開(kāi)高真空閥（4）開(kāi)始。真空室破空前，必須關(guān)閉前級(jí)真空閥（2）和高真空閥（4），擴(kuò)散泵維持在備用狀態(tài)。

抽速

任何一種泵的抽速都是指通過(guò)泵吸入口的體積流量。對(duì)于擴(kuò)散泵來(lái)說(shuō)對(duì)輕氣體抽速比重氣體抽速大。

泵油返流

某些油分子脫離蒸汽噴射流且未能被冷卻的泵體捕集時(shí)，就可能發(fā)生不希望的返流現(xiàn)象。油分子之間的碰撞和泵體的反射，使其可能向真空室方向運(yùn)動(dòng)。

DIP擴(kuò)散泵的返油率僅為每分鐘每cm2進(jìn)氣口面積幾μg，加水冷帽或冷阱捕集后，幾乎可完全消除油返流。

擴(kuò)散泵的返油率

- 無(wú)水冷帽和冷阱

約 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1

- 加有水冷帽

約 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1

- 加有冷阱

(T = 10 °C (50 °F))

約 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1

以上數(shù)據(jù)是在進(jìn)口壓強(qiáng)<1×10-4 mbar以及LVO500條件下測(cè)定的。

可達(dá)到的極限壓強(qiáng)

真空系統(tǒng)可達(dá)到的極限壓強(qiáng)不僅與擴(kuò)散泵型號(hào)和額定抽速有關(guān)，還與泵油蒸汽壓、冷阱的形狀和溫度、連接法蘭或焊接點(diǎn)的泄漏以及真空室內(nèi)表面狀況有關(guān)。

在消除了因泄漏和腔體內(nèi)壁臟造成的放氣影響后，它將能達(dá)到“概述”一節(jié)所給“油擴(kuò)散泵（DIP）可達(dá)到的極限壓強(qiáng)”表中所述值。

實(shí)際上，以下組合對(duì)于實(shí)現(xiàn)無(wú)返油的高真空有很好的效果。

- 集成了水冷帽的擴(kuò)散泵加配星形冷阱，水冷星形冷阱安裝在擴(kuò)散泵高真空法蘭上。

密封方式

對(duì)10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強(qiáng)要求，烘烤溫度150 °C (302 °F)已足夠。須使用FPM ( FPM=氟橡膠，可耐150 °C (302 °F) 溫度 ) 密封圈或鋁制超級(jí)密封環(huán)。

為防止壓強(qiáng)的變化，擴(kuò)散泵與冷阱之間必須使用超級(jí)密封環(huán)。

低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強(qiáng)則要求烘烤溫度高達(dá)400 °C ( 752 °F )。

實(shí)際上只須將真空室烘烤到400°C (752°F)，而在冷阱上維持一個(gè)溫度梯度，使泵入口法蘭不超過(guò)150 °C (302 °F)。

在這種條件下，允許使用FPM密封環(huán)或鋁制超級(jí)密封環(huán)。

冷卻

冷卻進(jìn)水溫度不應(yīng)超過(guò)25 °C (77 °F)，出水不應(yīng)大于30 °C (86 °F)，否則不能保證泵油充分冷凝。當(dāng)串聯(lián)泵和冷阱的冷卻水回路時(shí)，必須使冷卻水首先流過(guò)冷阱然后再流過(guò)擴(kuò)散泵，因?yàn)檎婵帐铱?/span>達(dá)到的極限壓強(qiáng)在很大程度上取決于冷阱上泵油的冷凝溫度。

DIP系列泵是為工業(yè)系統(tǒng)使用而開(kāi)發(fā)的。優(yōu)秀的真空性能與這種泵固有的機(jī)械耐用性相結(jié)合，使萊寶的擴(kuò)散泵成為高和中真空領(lǐng)域的可靠設(shè)備。

供貨范圍

油擴(kuò)散泵在供貨時(shí)已具備連接條件，但沒(méi)充泵油。

交貨前泵內(nèi)部已擦洗干凈，無(wú)油且已抽空。高真空和前級(jí)真空法蘭已經(jīng)配裝有發(fā)運(yùn)法蘭，及所需配套之密封圈和中心定位環(huán)及全套緊固部件。

客戶(hù)得益

- 在高真空范圍內(nèi)具有很高抽速

- 可獲得很低的極限壓強(qiáng)

- 集成的水冷帽可確保向真空室極低的返油率

- 集成的水冷前級(jí)真空擋板確保低油耗（即使在高氣載下）

- 即便在減小加熱功率下仍具有高前級(jí)背壓

- 加熱棒在插入油鍋的加熱套管中，方便操作可快速更換（即使泵為熱態(tài)）

- 每個(gè)加熱棒對(duì)應(yīng)單獨(dú)的自動(dòng)斷路器，確保電氣高度安全

- 標(biāo)配超溫保護(hù)開(kāi)關(guān)防止熱過(guò)載，保證加熱棒不會(huì)過(guò)熱

- 所有泵已預(yù)留位置，可安裝冷卻水過(guò)溫保護(hù)開(kāi)關(guān)（備選件）以檢查冷卻水

回路，和觸點(diǎn)指針溫度計(jì)（備選件）以監(jiān)視擴(kuò)散泵工作溫度

- 通過(guò)油位視窗指示可檢查當(dāng)前油位

- 所有DIP泵交貨時(shí)其內(nèi)室潔凈無(wú)油并

抽空，方便加入所需泵油類(lèi)型

- 可以選配能耗管理系統(tǒng)，較大限度的節(jié)省擴(kuò)散泵的運(yùn)行成本。（部分型號(hào)適用）

典型應(yīng)用

DIP系列擴(kuò)散泵可用于鍍膜系統(tǒng)、真空熔煉和干燥系統(tǒng)以及真空爐/熱處理

訂貨信息

1)用LVO500泵油按DIN 28 427測(cè)得。

2)冷卻水需要量參看ΔT = 10 °C (50 °F)。出水溫度不應(yīng)超過(guò)30 °C (86 °F)。

3)前級(jí)泵/組可選用單或雙級(jí)旋片泵（TRIVAC；SOGEVAC）或者滑閥泵（E/DK），以及羅茨真空泵（RUVAC）的組合。

4)泵不含油，需單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)。

5)改裝套件。