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半磁浮分子泵TURBOVAC 350 i/iX

評(píng)論:0
品牌 萊寶(Leybold)
型號(hào) 350 i/iX
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品評(píng)論(0)

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空,具有操作簡(jiǎn)單,可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級(jí)泵組合后,可以實(shí)現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵領(lǐng)導(dǎo)品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場(chǎng)合。

半磁浮分子泵TURBOVAC 350 i/iX 安裝尺寸


半磁浮分子泵TURBOVAC 350 i/iX 抽速曲線圖

工作原理

渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪,快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動(dòng)量傳輸給氣體分子,將起初無方向性的熱運(yùn)動(dòng)變成有定向運(yùn)動(dòng)。

渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運(yùn)動(dòng)到前級(jí)真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強(qiáng)時(shí),氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點(diǎn)幾毫米),分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞,所以

抽氣過程非常高效。

在粘滯流范圍,也就是壓強(qiáng)超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr),情況則完全不同,分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此,渦輪分子泵無法在大氣壓下工作,需要適當(dāng)抽速的前級(jí)真空泵。

為了使氣體分子產(chǎn)生定向運(yùn)動(dòng),轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以,轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對(duì)于萊寶真空的渦輪分子泵而言,較大直徑轉(zhuǎn)子(例如 TURBOVAC 1000 ,大約20cm(7.87in.))的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm,而較小直徑轉(zhuǎn)子(例如TURBOVAC50,大約6cm(2.36in.))的轉(zhuǎn)速為72000rpm。


分子泵設(shè)計(jì)理念

萊寶真空針對(duì)不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機(jī)械軸承標(biāo)準(zhǔn)分子泵;TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵(半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤(rùn)滑軸承,高真空端配置免維護(hù)的永磁軸承)。萊寶真空的分子泵均不采用油潤(rùn)滑軸承可以從理論上完全避免分子泵對(duì)腔體產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴静⑶冶WC所有分子泵均可以任意角度安裝。


萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

TURBOVAC i/iX系列

TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設(shè)計(jì)理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶提供**真空的性能和較高的系統(tǒng)集成度。

TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)完美地克服了分子泵軸承設(shè)計(jì)的瓶頸,同時(shí)滿足了軸承無油和現(xiàn)場(chǎng)更換這兩大設(shè)計(jì)難點(diǎn),實(shí)現(xiàn)了一代的技術(shù)水平。

TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應(yīng)用

TURBOVAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是:

- 無油,可以實(shí)現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件

- 運(yùn)行高度可靠

- 耐輻射

- 設(shè)計(jì)緊湊


TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是:

- 款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計(jì)

- 抽速大,壓比高

- 免維護(hù)

- 清潔無油


陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承,軸承終生脂潤(rùn)滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此,使用陶瓷滾珠,座圈的磨損明顯降低。延長(zhǎng)軸承和分子泵的壽命延長(zhǎng)。

裝有脂潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝,所以即使分子倒置安裝,油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是:

- 款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計(jì)

- 抽速大,壓比高

- 免維護(hù)

- 清潔無油


陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承,軸承終生脂潤(rùn)滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此,使用陶瓷滾珠,座圈的磨損明顯降低。延長(zhǎng)軸承和分子泵的壽命延長(zhǎng)。裝有脂潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC

泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝,所以即使分子倒置安裝,油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。


技術(shù)特點(diǎn)

TURBOVAC i

- 集成變頻器,24/48V DC 電源供電

- 切削成型轉(zhuǎn)子和全新復(fù)合級(jí)設(shè)計(jì)使分

 子泵具有超佳性能和較大抽速,對(duì)輕

 質(zhì)氣體尤為突出

- 任意方向安裝

- 極高的可靠性源于創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)理

 念

- 設(shè)計(jì)靈活,適應(yīng)性強(qiáng)

- 市場(chǎng)上一款無油半磁浮分子泵

- 現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)(更換軸承),維修成本低,

 時(shí)間短

- 通訊接口齊全(標(biāo)配USB,RS485和

 15針數(shù)字I/O)

TURBOVAC iX

- 集成真空系統(tǒng)控制器配置靈活的通訊

 接口和附件控制接口(用于控制冷卻

 單元,閥門,規(guī)管和前級(jí)泵等)

- 附件齊全,即插即用

- 適應(yīng)性強(qiáng),適合各類真空工藝

TURBOVAC T i, T iX

- 標(biāo)準(zhǔn)分子泵(不含復(fù)合級(jí))

- 帶氣載能力強(qiáng)

- 耐粉塵

- 啟動(dòng)時(shí)間短

典型應(yīng)用

- 分析儀器/科研

 - 質(zhì)譜儀

 - 電子顯微鏡

 - 表面分析儀

 - 加速器和同步加速器

 - X射線分析儀

 - 實(shí)驗(yàn)室鍍膜系統(tǒng)

 - MBE

 - 超高真空系統(tǒng)

- 生命科學(xué)

 - 放射醫(yī)療

 - 伽馬射線滅菌

 - 高品質(zhì)植入物生產(chǎn)

- 工業(yè)和鍍膜應(yīng)用

 - PVD鍍膜設(shè)備

 - 光學(xué)鍍膜設(shè)備

 - CD/DVD/藍(lán)光光碟生產(chǎn)

 - 薄膜太陽能

 - 進(jìn)樣室/轉(zhuǎn)移室/傳輸室

 - 電子束焊機(jī)

 - 檢漏/真空絕熱


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