TTR 200 N皮拉尼真空計

TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。

變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。

每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在指定操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。

變送器擁有三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。

壓電傳感器基于對硅膜機械偏轉(zhuǎn)的測量。硅膜的一側(cè)暴露于環(huán)境壓力，另一側(cè)暴露于真空。

壓電傳感器可測量無關(guān)于氣體成分和濃度的真實差壓。

這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 真空鎖壓力控制

· 一般真空壓力測量  

· 前級管道和粗抽壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 質(zhì)譜儀控制

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)  

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力，利用設(shè)定點繼電器采取妥當?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

應(yīng)用

差分壓電傳感器將始終相對于環(huán)境壓力進行精確的測量，不論環(huán)境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:

- 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)

- 相對于環(huán)境的腔室超壓和欠壓控制。  

例如:

一名客戶想要在 10 毫巴的相對環(huán)境超壓下打開真空鎖，以免在他打開真空鎖時氣體涌入真空鎖。為此，此客戶可以基于差分壓電讀數(shù)來執(zhí)行一種控制算法。當壓電讀數(shù)為 +10 毫巴時，表示真空鎖中的壓力較真空鎖外的環(huán)境壓力超出 10 毫巴 (不論環(huán)境壓力是多少，例如 1000 或 1020 毫巴)。除差分測量之外，變送器還提供較寬的絕對測量范圍，此范圍可通過模擬輸出獲得。